プロセスの概要
	エッチング液の再生は以下の工程から成り立っています。

1．電解工程
	エッチングマシーンと再生液槽間で循環しているエッチング液を、電解槽供給ポンプにて電解槽陰極室に供給します。 　隔膜電解法により、陰極室で陰極板表面に銅を析出させ、供給されたエッチング液を脱銅処理します。 　析出した銅は陰極板表面からかき落とし、電解槽の底部から、装置の系外に自動的に排出します。これにより、エッチング工程で増加した銅を回収します。 　脱銅した希薄エッチング液中の第一銅イオンを第二銅イオンに陽極酸化し、オーバーフローにより電解槽から再生液槽に集めます。
2．塩素酸化工程
	電解槽陽極室では、塩素ガスが発生します。 　エッチングにより第一銅イオン濃度が増加したエッチング液を、エゼクターを備えた再生液槽に供給します。電解工程で発生した塩素ガスをエゼクターで吸収し、気液接触させます。この接触により、第一銅イオンが塩素ガスと反応して第二銅イオンに酸化されます。 　これによりエッチング液のエッチング能力が回復します。
3．銅粉の搬出
	電解槽の底部にドラム缶等の銅粉受けを用意し、電解槽底部から断続的に銅粉を受け入れます。受け入れた銅粉は、大量の付着液を含んでいますので、付着液はフィルターを通して銅粉と分離し、付着液返送ポンプに返送します。